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      鈦鎳鋯濺射靶材制備工藝方法和特點

      發布時間:2021-06-22 23:21:29 瀏覽次數 :

      大家都知道靶材分為很多種,比如合金,氧化物,銅、鋁、不銹鋼、鎳、鈦等金屬,而根據金屬的不同,需要用到各種不同的靶材制備方法,凱澤金屬結合相關資料,整理如下:

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      濺射靶材的不同工藝方法及特點

      1、粉末燒結法

      一般熱壓、真空熱壓、熱等靜壓等工藝會用到粉末燒結法。

      (1)特點:這種制備工藝具有容易獲得均勻細晶結構、節約原材料、生產效率高等特點。其關鍵在于需要選擇高純、超細粉末作為原料,選擇可以實現快速致密化的成形燒結技術,從而保證靶材的低孔隙率,并控制晶粒度。在制備的過程中需嚴格控制雜質元素的引入。

      (2)適合金屬:適合W、Mo、Ru等難溶性金屬和合金。

      2、熔煉鑄造法

      一般真空感應熔煉、真空電弧熔煉、真空電子轟擊熔煉等工藝會用到熔煉鑄造法。

      (1)特點:熔煉鑄造法和粉末法相比,熔煉合金靶材的雜質含量,特別是氣體雜質含量低,而且能高密度化、大型化,但是對于熔點和密度相差都很大的金屬,熔煉法會難以獲得成分均勻的合金靶材。

      (2)適用金屬:適合AI、Ti、Ni、Cu、Co、Ta、Ag、Pt等具有良好塑性的金屬。

      3、擠壓工藝

      一般熱擠壓、冷擠壓、溫擠壓等都會用到擠壓工藝。

      (1)特點:主要用于制備塑性好的金屬及合金旋轉靶材。

      (2)適用金屬:適合AI、Cu、Zn等塑性好的金屬。

      4、等離子噴涂法

      一般真空、水穩、氣穩等離子噴涂等工藝都會用到等離子噴涂法。

      (1)特點:可用于制備脆性金屬及合金、陶瓷靶材等旋轉靶材。

      (2)適用金屬:適合Cr、Si、氧化物等的旋轉靶材。

      經過以上介紹可知濺射靶材制備工藝方法主要有粉末燒結法、熔煉鑄造法、擠壓工藝、等離子噴涂法等,不同工藝適用場合不同、特點不同、適用金屬也不同,所以不同的金屬所用到的制備工藝都是不同的,我們可以做個相關的了解,如果大家還有疑問可以隨時致電寶雞市凱澤金屬材料有限公司,我們的工作人員經驗豐富、售后服務完善、所生產靶材規格多樣、制備工藝精良,如有需要,歡迎大家隨時致電或留言進行咨詢。

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