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      寶雞靶材生產廠家深度解析鎳靶材的應用領域與工藝流程

      發布時間:2025-02-11 17:28:54 瀏覽次數 :

      鎳靶材是一種用于物理氣相沉積(PVD)或濺射鍍膜工藝的高純度鎳材料,主要用于在基材表面形成功能性薄膜。關于鎳靶材的詳細介紹,凱澤金屬結合多年生產經驗及相關資料,分享如下:

      1、主要應用領域

      電子工業:

      半導體器件中的導電層或阻擋層(如芯片互連)。

      薄膜電路、顯示面板(OLED、LCD)的電極材料。

      防腐與耐磨涂層:

      航空航天、汽車零部件表面鍍鎳,提高耐腐蝕性。

      工具、模具的耐磨鍍層。

      裝飾鍍膜:

      珠寶、衛浴五金等表面裝飾性鍍層。

      新能源領域:

      鋰電池集流體、燃料電池催化層等。

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      2、關鍵性能指標

      純度:半導體級要求≥99.995%(5N5),工業級通?!?9.9%。

      密度:高密度(接近理論值8.9g/cm3)以減少濺射孔隙。

      晶粒尺寸:細小均勻的晶??商岣咤兡ぞ鶆蛐裕ㄍǔP杩刂茷槲⒚准墸?。

      雜質控制:嚴格限制氧、硫、碳等雜質,避免影響薄膜性能。

      3、生產工藝流程

      熔煉提純:真空感應熔煉(VIM)或電子束熔煉(EBM)去除雜質。

      成型加工:

      鑄造或熱等靜壓(HIP)制成坯料。

      軋制、鍛造改善結構致密性。

      機械加工:切割、研磨至目標尺寸(如Φ200mm×6mm)。

      綁定背板:與銅/鋁背板焊接,增強散熱與機械強度。

      表面處理:拋光、清洗,確保無污染。

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      4、技術挑戰

      純度控制:需避免熔煉過程中的雜質引入。

      晶粒細化:通過熱處理或塑性變形優化微觀結構。

      殘余應力:加工過程中可能產生應力,需退火處理。

      綁定工藝:靶材與背板的熱膨脹系數需匹配,防止脫落。

      5、常見規格與標準

      形狀:圓形、矩形、管狀等。

      尺寸:直徑可達500mm以上,厚度通常3-10mm。

      標準:符合ASTM B906、JIS H2118等國際標準。

      6、市場與供應鏈

      主要生產商:

      海外:JX日礦金屬、霍尼韋爾(美國)、普萊克斯(Praxair)。

      國內:江豐電子、有研新材、隆華科技、凱澤金屬等。

      價格因素:受鎳金屬行情、純度及加工難度影響,半導體級價格顯著高于工業級。

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      7、環保與安全

      健康風險:鎳及其化合物可能致敏,操作需佩戴防護裝備。

      回收利用:廢靶材可通過重熔提純再生,降低資源消耗。

      若需進一步了解鎳靶材的特定應用案例或技術參數,請通過以下方式,與靶材生產廠家-凱澤金屬聯系。

      寶雞市凱澤金屬材料有限公司

      地址:陜西省寶雞市高新區寶鈦路98號

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